傳感器不但應(yīng)該對被測量敏感,而且具有把(bǎ)它對被測量的響應傳送出去的功能。
也就(jiù)是說,傳感器(qì)不隻是一般的敏感元件,它的輸(shū)出響(xiǎng)應還必須是易於傳送的物理量。
例(lì)如:上訴的彈性膜盒的輸出(chū)響(xiǎng)應是形變(biàn),是微小的幾(jǐ)何(hé)量,不便於向遠方傳送。
如果把膜盒中心的位移轉變(biàn)為電容(róng)極板的間(jiān)隙變化,就成為(wéi)輸出響應繞包(bāo)機是電容量的壓力(lì)傳感器。
由於電信號最便於傳送,所(suǒ)以絕大多數傳感器的輸(shū)出是電量的形(xíng)式,如電壓、電流、電阻、電感、電容、頻率等。
變送器是從傳感器發展而(ér)來(lái)的,凡能輸出標準信號的傳感器就稱為變送器。
(標準信號是(shì)物理量的形(xíng)式和數值(zhí)範圍都符合標準的信(xìn)號。
例如(rú)直流4~20mA)有了統一的(de)信號形式和數值範圍,就便於把各種變送器和其他儀表組成檢測係統或調節係統。
輸出為非標(biāo)準信號的傳感器,必須和特(tè)定的(de)儀表或裝置配套,才(cái)能(néng)實現檢(jiǎn)測或(huò)調節功能。
為(wéi)了加(jiā)強通用性和靈活性,某些傳感器的輸(shū)出(chū)可以靠轉換器把非標準信號轉換成標準信號,使之與帶有標準信(xìn)號(hào)的輸入電路或(huò)接口的儀表配(pèi)套。
不同的標準(zhǔn)信號也可借助於轉換器互相轉換。
例如利用氣/電轉(zhuǎn)換器,能把(bǎ)20~100 kPa的空氣壓力轉換成0~10mA的直流電流。
位(wèi)式作用和(hé)連續(xù)作用:
位(wèi)式作用,也稱為開(kāi)關作(zuò)用,即傳感器在輸入變量整個變化(huà)範圍內其輸(shū)出相應隻(zhī)有兩種狀態(tài),例(lì)如空氣狀態的“高”和“低”。
位式作用的傳感器多用於被測變量(liàng)的(de)超限報警、連鎖保護、順序控製。
例(lì)如我們的壓力開關。
需要連續檢測(cè)或調節(jiē)某些變量時,就必(bì)須用連續作用的(de)傳(chuán)感器或變送器。
長野的變(biàn)送器(qì)中所(suǒ)使用的傳感器SS—蒸發型(xíng)半導(dǎo)體應變片的特點:
(1)相對於粘貼式和擴散式,蒸發(fā)式為新技術。
(2)其可(kě)測壓力範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具(jù)有很好耐用性和(hé)穩定性。
半導體(tǐ)應變片的(de)製作(zuò)方法:粘貼方式、蒸發方式、擴散方式。
長野的變送器,如KM31、KM10 等,其半導體應變片部分、感應元件(不鏽鋼隔膜(mó))以及壓力接口部分通過焊接連接成一體,具有很高的穩定性和可靠性,抗震性和抗衝擊性良好。
蒸發式半導體應(yīng)變片的具體製作(zuò)方式如下:
(1)在不鏽鋼隔膜上使用(yòng)CVD等離子沉澱一層SiO2絕緣膜
(2)在SiO2絕緣膜上再(zài)沉澱(diàn)一層多晶(jīng)矽。
(3)在多(duō)晶矽(guī)上使(shǐ)用激光蝕(shí)刻,應(yīng)變片成型 。
(4)用電子(zǐ)束照射蒸鍍,配上金(jīn)製電極(jí)。
(5)再使用CVD等(děng)離子沉澱一層SiNx保護膜。
根據傳感器(qì)或變送器的安裝場所有無易燃(rán)易爆氣體及危險程度,選(xuǎn)擇隔爆型及本安型。
(1)隔(gé)爆型在內部電路和周圍易(yì)燃(rán)氣體之間采取了隔離措施,允許(xǔ)使用(yòng)在有一定危險性(xìng)的環境裏 。
(2)本安型即(jí)本質安全型的簡稱,依靠特殊設計的(de)電路保證在正常工作及故(gù)障(意(yì)外短路或斷路)狀態(tài)下都不會引起燃爆事故,可用在(zài)十分易燃易爆(bào)的場所。